Anschlussprojekte | Sonderprojekte

Förderbeginn 01.07.2004

Mikro- und Nano-Materialbearbeitung mit Ultrakurzzeit-Lasern

Prof. Dr. Ralf Hellmann
Hochschule Aschaffenburg
Fakultät für Ingenieurwissenschaften

Dr. Arnd Krueger
Spectra-Physics, Inc.
Ultrafast Group


Gepulste Laser werden bereits vielfältig in der industriellen Lasermaterialbearbeitung eingesetzt. Durch die hohe Genauigkeit und die geringe thermische Belastung außerhalb des Laserfokus (die relevante Zeitskala für die Wärmeleitung ist groß gegenüber der Pulsdauer) hat sich die Lasermikromaterialbearbeitung mit Pulslängen einiger Nanosekunden auch in der Mikroelektronikindustrie etabliert. Im Rahmen dieses Projektes soll die Materialbearbeitung mittels Femtosekunden-Laser untersucht und mit den Ergebnissen der Laser mit Nanosekunden-Pulsen verglichen werden. Aufgrund veröffentlichter experimenteller Befunde kann dabei erwartet werden, daß Nanoschichten unter der Einwirkung einzelner Pulse entfernt werden können, so daß eine erhöhte Genauigkeit der Materialabtragung erzielt werden kann.