Anschlussprojekte | Sonderprojekte

Förderbeginn 01.01.2013

Computergestützte Modellierung und Ionenstrahlsynthese vergrabener Ge Nanocluster

PD Dr. Helmut Karl
Universität Augsburg
Lehrstuhl für Experimentalphysik IV

Prof. Daryl C. Chrzan
University of California, Berkeley
Department of Materials Science and Engineering


Mittels Implantation hochenergetischer Ionen lassen sich Halbleiter Nanocluster synthetisieren die oberflächennah in Silizium- bzw. Titandioxid eingebettet sind. In diesem Projekt kontrollieren wir die Größenverteilung der Ge Nanocluster schon während der Implantation durch gezielte Fragmentierung und Wachstum der Nanocluster. Die erhaltenen Ge Nanocluster Größenverteilungen werden gemessen und mit den Ergebnissen einer kinetischen Monte-Carlo Simulationen verglichen. Die gewonnen Erkenntnisse werden zu einem besseren Verständnis der fundamentalen Nukleations- und Wachstumsprozesse unter Ionenbeschuss auf Nanometerskala führen. Mögliche Anwendungen im Bereich Silizium kompatibler elektrooptischer Bauelemente und photochemischer Energiegewinnung sind denkbar.